Главная » Продукция » membrnasosydellmeco » Серия DMS: 10, 20, 50, 100 T; 10, 20 H; 10, 20, 50, 100 E; 20, 50 S

Серия DMS: 10, 20, 50, 100 T; 10, 20 H; 10, 20, 50, 100 E; 20, 50 S

Насосы SEMI серии DMS были разработаны специально для полупроводниковой промышленности. Весь процесс сборки этих уникальных насосов производится в особо чистом помещении класса 100 с двойной очисткой деталей, тестированием на деионизированной воде и, наконец, герметичной упаковкой в пластиковую пленку.
Все части насосов серии SEMI T и SEMI Н, контактирующие с жидкостью, выполнены из PTFE и TFM. Корпус насосов серии SEMI E, контактирующий с жидкостью, выполнен из UPPE (ультра-чистого полиэтилена).

Конструктивные особенности:

полностью отсутствуют металлические части
полностью отсутствуют уплотнительные кольца из эластомеров
воздушный распределительный механизм не нуждается в смазке
сборка в особо чистом помещении класса 100, испытаны на деионизированной воде и герметично упакованные
мембраны (диафрагмы) изготовлены из TFM с увеличенным сроком службы
четыре варианта материалов с максимальной рабочей температурой 200°C
изготовлены из очень прочных материалов на прецизионном оборудовании
в качестве опций доступны демпферы пульсации, датчики утечек, электронный / пневматический контроль и мониторинг
очень легкий ремонт

SEMI T с демпфером пульсации

SEMI H

SEMI E

SEMI S

Варианты исполнений

МОДЕЛЬ	ТИПОРАЗМЕР	МАТЕРИАЛЫ		ПРИМЕР ПЕРЕКАЧИВАЕМОГО ПРОДУКТА
МОДЕЛЬ	ТИПОРАЗМЕР	ЦЕНТР.БЛОК	КОРПУС	ПРИМЕР ПЕРЕКАЧИВАЕМОГО ПРОДУКТА
SEMI T	10, 20, 50, 100	TFM/PTFE	UPPE	кислоты и каустическая сода
SEMI H	10, 20	TFM/PTFE	PTFE	кислоты и каустическая сода с высокой температурой
SEMI E	10, 20, 50, 100	UPPE	UPPE	агрессивные суспензии и растворы
SEMI S	20, 50	AISI 316L	PTFE токопроводный	растворители

Размеры

мм	A	B	C	D	E	F	G	H	I	K	L	M	N	O	Q	R	S	T
SEMI 10	184	112	72	28	10.5	95	145	114	57	133	68	79.5	37	105	155	155	36	33
SEMI 20	207	109	98	35	10.5	109	163	154	75	172	91	115	32	139	200	163	46	110
SEMI 50	255	157	98	46	19	113	195	207	104	215	110	165	33	177	258	224	59	150
SEMI 100	315	196	119	57	19	138	238	269	135	267	138	225	39	223	322	298	80	213

Максимальная t° перекачиваемого продукта

МОДЕЛЬ / ДАВЛЕНИЕ ПОДАВАЕМОГО СЖАТОГО ВОЗДУХА	6 бар	5 бар	4 бар	3 бар	2 бар
SEMI T	100°С	110°С	120°С	130°С	130°С
SEMI H	100°С	130°С	150°С	180°С	200°С
SEMI E	70°С	70°С	70°С	70°С	70°С
SEMI S	130°С	130°С	130°С	130°С	130°С

Полезные статьи

Похожее

Заказ T5018-33

Заказать ADF-125-PTFE-TW-C

21260569